Ãʼø¼ö´Â ÁÖ·Î **ºñÀúÇ×(Resistivity, M¥Ø⋅cm)**°ú ÃÑ À¯±â ź¼Ò(TOC) ³óµµ·Î µî±ÞÀÌ ³ª´¹´Ï´Ù.
ºñÀúÇ×Àº ¹°¿¡ ³²¾ÆÀÖ´Â ÀÌ¿ÂÀÇ ¾çÀ» ³ªÅ¸³»¸ç, ÀϹÝÀûÀ¸·Î 18.2M¥Ø⋅cm°¡ ÃÖ°í µî±ÞÀÔ´Ï´Ù.
Á¤¹ÐºÐ¼® ¹× Á¤¹Ð ºÐÀÚ»ý¹°ÇÐ ½ÇÇè¿¡¼´Â 18.2M¥Ø⋅cmÀÇ Ãʼø°¡ ÇÊ¿äÇÕ´Ï´Ù. ±×·¯³ª ¹ÚÅ׸®¾Æ ¼¼Æ÷¹è¾ç ¹× ºÐ±¤±¤µµ°è ÃøÁ¤ µî°ú °°Àº
ÀϹÝÀûÀÎ ½ÇÇè¿¡¼´Â 15.0 2M¥Ø⋅cm ÀÌ»óÀÇ 2Â÷¼ö±Þ ¼ø¼öµµ ¹«³ÇÏ°Ô »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
TOC´Â À¯±â¹°ÀÇ ¿À¿°µµ¸¦ ³ªÅ¸³»¸ç, ³·À»¼ö·Ï ÁÁ½À´Ï´Ù. ½ÇÇè½Ç, ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶, Á¦¾à µî ¿ëµµ¿¡ µû¶ó ÇÊ¿äÇÑ µî±ÞÀÌ ´Ù¸£¹Ç·Î,
»ç¿ë ¸ñÀû¿¡ ¸Â´Â µî±ÞÀ» È®ÀÎÇØ¾ß ÇÕ´Ï´Ù.
¹ÝµµÃ¼°ü·Ã ¿¬±¸•½ÇÇè•»ý»ê¿¡¼´Â TOC°¡ 2ppb ÀÌÇÏ (½ÇÁ¦·Î ±¹Á¦ÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼ ȸ»ç¿¡¼´Â 1ppb ÀÌÇÏÀÇ Ãʼø¼ö¸¦ »ç¿ëÇÏ´Â °æ¿ì°¡ ¸¹½À´Ï´Ù.
±âŸ Á¤¹ÐÀ¯±âºÐ¼®½ÇÇè½Ç(¿¹ LC-MS)¿¡¼´Â TOC°¡ 1~2ppb ÀÌÇÏÀÇ Ãʼø¼ö¸¦ »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù.
ÀÏ¹Ý ºÐ¼®½ÇÇè½Ç ¹× ÀÏ¹Ý ºÐÀÚ»ý¹°ÇÐ ½ÇÇè½Ç¿¡¼´Â 5ppb ÀÌÇÏÀÇ TOC ¼öÄ¡¸¦ °¡Áø Ãʼø¼ö¸¦ »ç¿ëÇØµµ ¹«¹æÇÏ¸ç ½ÇÁ¦·Î´Â 10ppb ÀÌÇÏÀÇ Ãʼø¼ö¸¦ »ç¿ëÇÏ´Â °æ¿ìµµ ÀûÁö ¾Ê½À´Ï´Ù.
ÇѰ¡Áö À¯ÀÇÇÒ Á¡Àº, °¢ Á¦Á¶»ç°¡ Á¦Ç°È«º¸ÀÚ·á¿¡ ¸í½ÃÇÑ TOC ¼öÄ¡´Â Àåºñ°¡ ÃÖ»óÀÇ »óÅ·Π°¡µ¿µÉ ‹šÀÇ ¼öÄ¡¸¦ ÀǹÌÇϸç,
½ÇÁ¦·Î ½ÇÇè½Ç¿¡¼ »ç¿ë½Ã, ¼Ò¸ðǰÀÇ ±³Ã¼±â°£ÀÌ ´Ù°¡¿Ã °æ¿ì, Àå±â°£(¿¹¸¦ µé¾î 5³â ÀÌ»ó) Ưº°ÇÑ À¯Áöº¸¼ö ¾øÀÌ »ç¿ëÇßÀ» °æ¿ì µîÀÇ ´Ù¾çÇÑ °æ¿ì¿¡¼
¼öÁúÀÌ ½Ã½Ã°¢°¢À¸·Î º¯ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. TOC ³óµµ°¡ 1~2ppb ÀÌÇÏÀÇ Ãʼø¼ö¸¦ »ç¿ëÇϰíÀÚ ÇÒ ¶§¿¡´Â TOC ¸ð´ÏÅ͸µ ÀåÄ¡°¡ ³»ºÎ¿¡ ÀåÂøµÇ¾î ÀÖ´Â Á¦Ç°À» »ç¿ëÇÒ °ÍÀ» ±ÇÀåÇÕ´Ï´Ù.